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PECVD石墨舟厂家***欢迎来电

发布时间:2020-06-10 05:33:25        







不透性石墨是采用一定的措施,填充石墨的缝隙,使其成为不透性的石墨材料。包括浸渍石墨、压型石墨、浇注石墨三种。具有优良的耐腐蚀与物理机械性能,可以制造防腐设备广泛在化工工业中推广应用。

优良的耐腐蚀性能:各种品种的碳与石墨对于一切浓度的盐酸、磷酸与氢fu酸包括含氟介质都有优良的耐蚀性,应用温度较高位350℃-400℃,即碳与石墨开始氧化的温度。


正常的镀舟可以满足工艺正常生产需要,镀舟不足会造成生产时工艺的化学反应被石舟吸收造成硅片镀膜不良,形成四周红片。假如镀舟过度,“吃的太饱”就容易造成硅片的四周发白。

因为我们的舟片是镂空的,硅片的四周是同舟片相接触的,从而造成四周的生长速率加快,形成片子四周发白(偏白)此点建议从镀舟工艺上调整。

如果正常生产到一定次数偏白请及时调整工艺。红片加时间,白片减时间。

其它原因:具体情况待交流分析




这种碾压法不用任何粘结剂就可以将柔性石墨压制成板材。整个工艺过程是在装有滚轮碾压机的专用设备上进行的。

碾压机结构组成:装蠕虫石墨的料斗1,振动给料装置,2,输送带3四个压力辊4,一对加热器5,控制板材厚度的辊筒6压花或图案辊筒8 和卷辊9切割刀10 成品卷辊

工作过程:高纯石墨从料斗进入给料装置,落在输送带上。经过压力辊的碾压,形成一定厚度的料层。加热装置产生高温加热,以出去料层中的残存气体,并使未膨胀的石墨一次膨胀。然后将初步成型的反材送入控制厚度尺寸的辊筒中,按规定尺寸再压一次,以便得到厚度均匀和一定密度的平整板。经过切刀切割后,卷上成品筒。






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